ویژگی های محصول
پشتیبانی از چندین نسخه (PLC/PC) و پروتکل های اصلی ارتباطی مختلف؛
طراحی و تولید مطابق با استاندارد تولید ایمنی SEMI انجام شده است.
ظرفیت طراحی کانال بالا، UPH400 ~ 550pcs.
مناسب برای ابعاد مختلف محصول و مجلات؛
طراحی ثبت اختراع در سطح ویفر MFC، که از نشت گاز و ایجاد حوادث ایمنی جلوگیری می کند (پشتیبانی از گازهای{0} پرخطر مانند هیدروژن).
طراحی ثبت اختراع محفظه آب بندی بالا، تا 5pa.
زاویه تماس آب<10° (related to the material of product surface);
طراحی چهار کانال برای پردازش همزمان 4 محصول، با الکترودهای پایینی دوگانه، کاهش زمان ورود و خروج برد، بهبود قابل توجه کارایی و اطمینان از یکنواختی محصول در پردازش.
مشخصات فنی
|
پیکربندی عملکردی |
پارامترهای فنی |
|
|
L×W×H(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
تجهیزات |
وزن خالص (کیلوگرم) |
1000 |
|
فاصله محیطی (میلی متر) |
600 در پشت، 600 در دو طرف |
|
|
اتاق |
حجم (L) |
حدود 9 |
|
کانال (شماره) |
4 |
|
|
الکترود پایین (عدد) |
2 (تابع انتقال) |
|
|
حالت تغذیه |
مجله |
|
|
ابعاد محصول تطبیقی (میلی متر) |
عرض:40-100 طول:150-300 |
|
|
الکترود |
ابعاد الکترود (میلی متر) |
528×300 |
|
منبع تغذیه RF |
توان استاندارد (کیلووات) |
1 |
|
فرکانس (MHZ) |
13.56 |
|
|
کنترل گاز |
تا سه کانال |
2 کانال (استاندارد)، 3 کانال (اختیاری) |
|
سیستم کنترل |
رابط ماشین-انسان |
کامپیوتر + صفحه نمایش لمسی |
|
رابط از راه دور |
ارتباط |
اختیاری |
|
پمپ خلاء |
پمپ خشک اختیاری |
17CFM |
|
پمپ روغن اختیاری |
195CFM |
|
|
پمپ خشک اختیاری با عملکرد پاکسازی |
بله |
|
|
نرخ جریان تصفیه نیتروژن (SLM) |
2 |
|
|
زمان جاروبرقی (S) |
10月15日 |
|
|
زمان شکست خلاء (S) |
3-4 |
|
|
امکانات کارخانه |
منبع تغذیه |
سه فاز 380V50/60Hz 4.5kW (پمپ روغن) |
|
ابعاد و نوع فرآیند |
Swagelok 1/4 اینچی |
|
|
خلوص گاز فرآیند |
درجه صنعتی و بالاتر |
|
|
فشار گاز فرآیند (psig) |
10-20 |
|
|
ابعاد و نوع خط لوله گاز تصفیه |
Swagelok 1/4 اینچی |
|
|
خلوص گاز پاکسازی |
درجه صنعتی و بالاتر |
|
|
فشار گاز تصفیه (psig) |
15 |
|
|
ابعاد و نوع پنوماتیک |
فشار 10 میلی متری-در اتصال |
|
|
خلوص گاز پنوماتیک |
هوای فشرده، بدون روغن-، نقطه شبنم کمتر یا مساوی 7 درجه، ذرات<5 |
|
|
فشار گاز پنوماتیک (psig) |
70-90 |
|
|
هوای فشرده (mm) |
∅8 |
|
|
انطباق |
گواهینامه |
نیمه نیمه |
|
تجهیزات جانبی |
مولد نیتروژن (اختیاری) |
اختیاری برای پاکسازی نیتروژن |
|
کولر آبی (اختیاری) |
اختیاری برای خنک کننده الکترودها |
|
|
کیت هیدروژن (اختیاری) |
اختیاری برای درمان هیدروژن |
|
|
پردازنده گاز اگزوز (اختیاری) |
اختیاری برای تصفیه اگزوز فلوئور |
|
|
حمل و نقل |
وزن کل (کیلوگرم) |
1050 |
|
تعداد بسته ها |
1 |
|
|
بسته بندی مطابق با استاندارد SPM15 |
بله |
|
تگ های محبوب: سیستم تصفیه پلاسما وکیوم اتوماتیک VP-10S، سیستم تصفیه پلاسما وکیوم اتوماتیک VP-10S